Πάρτε το μηχάνημα επίστρωσης πολλαπλών τόξων ως παράδειγμα, η δομή του μπορεί να χωριστεί σε τρία κύρια μέρη. Η πρώτη είναι η κοιλότητα του θαλάμου κενού, η οποία είναι ο πυρήνας ολόκληρου του εξοπλισμού και χρησιμοποιείται για τη διατήρηση ενός περιβάλλοντος υψηλού κενού κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επικάλυψης. Το δεύτερο είναι το τμήμα μονάδας, συμπεριλαμβανομένων των βαλβίδων αγωγών και των διαφόρων αντλιών, οι οποίες συνεργάζονται για να διατηρήσουν την κατάσταση κενού στο θάλαμο κενού. Τέλος, υπάρχει το σύστημα ηλεκτρικού ελέγχου, το οποίο είναι ο εγκέφαλος ολόκληρου του εξοπλισμού και είναι υπεύθυνος για τη ρύθμιση της λειτουργίας κάθε στοιχείου για να εξασφαλιστεί η ομαλή πρόοδο της διαδικασίας επικάλυψης.
Η κοιλότητα του θαλάμου κενού είναι συνήθως κατασκευασμένη από υλικά υψηλής αντοχής για να εξασφαλιστεί ότι παραμένει σταθερή υπό υψηλή θερμοκρασία και υψηλή πίεση. Υπάρχουν πολλαπλά σημεία υποστήριξης που σχεδιάστηκαν μέσα στην κοιλότητα για να διορθωθούν τα τεμάχια εργασίας που πρέπει να τοποθετηθούν έτσι ώστε να μπορούν να διατηρούν τις θέσεις τους αμετάβλητες κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επικάλυψης. Ταυτόχρονα, η κοιλότητα είναι πολύ καλά σφραγισμένη και μπορεί να αποτρέψει αποτελεσματικά τον αέρα να εισέλθει για να εξασφαλίσει ένα περιβάλλον κενού.
Το τμήμα μονάδας περιλαμβάνει διάφορους τύπους αντλιών, όπως μηχανικές αντλίες, μοριακές αντλίες κ.λπ., που εξάγει την περίσσεια αερίου στον θάλαμο κενού, αντλώντας αέρα για να διατηρήσει τον απαιτούμενο βαθμό κενού. Επιπλέον, η ρύθμιση των βαλβίδων αγωγών είναι επίσης πολύ κρίσιμη. Μπορούν να ελέγξουν με ακρίβεια τη ροή του αερίου και των υλικών για να εξασφαλίσουν την προσφορά υλικού και την απόρριψη αερίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επικάλυψης.
Το σύστημα ηλεκτρικού ελέγχου είναι ο εγκέφαλος ολόκληρης της συσκευής. Παρακολουθεί διάφορες παραμέτρους στο θάλαμο κενού σε πραγματικό χρόνο, όπως ο βαθμός κενού, η θερμοκρασία, η πίεση κ.λπ., μέσω διαφόρων αισθητήρων και ενεργοποιητών και ρυθμίζεται αυτόματα σύμφωνα με το προκαθορισμένο πρόγραμμα. Επιπλέον, το σύστημα ηλεκτρικού ελέγχου μπορεί επίσης να παρακολουθεί την κατάσταση λειτουργίας του εξοπλισμού. Μόλις εμφανιστεί μια ανωμαλία, μπορεί να εκδώσει συναγερμό εγκαίρως για να εξασφαλίσει την ασφαλή λειτουργία του εξοπλισμού.
Γενικά, ο δομικός σχεδιασμός της μηχανής επικάλυψης πολλαπλών τόξων θεωρεί πλήρως όλες τις πτυχές της διαδικασίας επικάλυψης και εξασφαλίζει τη συνέπεια και τη σταθερότητα της ποιότητας επικάλυψης μέσω ακριβούς δομής και προηγμένου συστήματος ελέγχου.
