(1) Ελέγξτε ότι όλοι οι διακόπτες ελέγχου της μηχανής επίστρωσης κενού ιόντων βρίσκονται στη θέση "off".
(2) Ενεργοποιήστε τον κεντρικό διακόπτη τροφοδοσίας για να ενεργοποιήσετε τη μηχανή επικάλυψης κενού ιόντων.
(3) Τραβήξτε προς τα έξω τη βαλβίδα χαμηλής- πίεσης. Ανοίξτε τη βαλβίδα φουσκώματος. αφού δεν ακουστεί καμία ροή αέρα, ξεκινήστε τη βαλβίδα ανύψωσης του κουδουνιού-για να ανυψωθεί το κουδούνι.
(4) Τοποθετήστε και στερεώστε τον σπειροειδή θερμαντήρα βολφραμίου. Στερεώστε τη μεμβράνη PVDF και την πλάκα καλύμματος αλουμινίου στον περιστρεφόμενο δίσκο. Περάστε το σύρμα αλουμινίου στη σπειροειδή θερμάστρα. Καθαρίστε όλα τα μέρη στο εσωτερικό του κουδουνιού για να βεβαιωθείτε ότι δεν υπάρχουν ακαθαρσίες ή βρωμιές.
(5) Χαμηλώστε το κουδούνι.
(6) Εκκινήστε την αντλία κενού της μηχανής επίστρωσης κενού ιόντων.
(7) Ενεργοποιήστε την τροφοδοσία του σύνθετου μετρητή κενού (μοντέλο σύνθετου μετρητή κενού: Fzh-1A).
(8) Όταν ο δείκτης στο μανόμετρο χαμηλής υποπίεσης "2" μετακινηθεί πάλι δεξιόστροφα στα 6,7 Pa, πιέστε προς τα μέσα τη βαλβίδα χαμηλής- πίεσης.
(9) Ενεργοποιήστε το νερό ψύξης και ξεκινήστε την αντλία διάχυσης της μηχανής επικάλυψης κενού ιόντων, θερμαίνοντας για 40 λεπτά.
(10) Τραβήξτε προς τα έξω τη βαλβίδα χαμηλής- πίεσης. Επαναλάβετε τη διαδικασία λειτουργίας ⑦ μία φορά για την κατακόρυφη μηχανή επίστρωσης μονής-πόρτας: Περιστρέψτε το κάτω αριστερό κουμπί "1" στη θέση μέτρησης του τμήματος 2. Ο δείκτης μέσα στο μανόμετρο χαμηλής υποπίεσης "2" κινείται δεξιόστροφα. Όταν ο δείκτης μετακινηθεί στα 6,7 Pa, ανοίξτε τη βαλβίδα υψηλής-πίεσης.
