Υπάρχουν πολλά μοντέλα απόεξοπλισμός επίστρωσης κενού ιόντων, τα πιο κοινά είναι ο εξοπλισμός επίστρωσης ιόντων καθόδου, ο εξοπλισμός επίστρωσης από ανοξείδωτο χάλυβα (μεγάλος και μικρός) και ο εξοπλισμός επίστρωσης ιόντων πλακιδίων μπάνιου, τα οποία χρησιμοποιούν τεχνολογία πολλαπλών-επικάλυψης ιόντων τόξου.
Υπό συνθήκες κενού, η εκκένωση αερίου χρησιμοποιείται για τον ιονισμό αερίου ή εξατμισμένου υλικού. Ταυτόχρονα, το εξατμισμένο υλικό ή τα αντιδρώντα του εναποτίθενται σε ένα υπόστρωμα με τον βομβαρδισμό αυτών των αερίων ιόντων ή ιόντων από το εξατμισμένο υλικό.
Η επίστρωση ιόντων συνδυάζει την εκκένωση λάμψης, την τεχνολογία πλάσματος και την τεχνολογία επίστρωσης με εξάτμιση κενού.
Η επιμετάλλωση ιόντων κενού είναι μια τεχνολογία επίστρωσης που συνδυάζει την εξάτμιση υπό κενό και τη διασκορπισμό υπό κενό. Η διαδικασία επιμετάλλωσης ιόντων περιλαμβάνει τη χρήση εκκένωσης αερίου υπό συνθήκες κενού για τον μερικό ιονισμό του αερίου εργασίας ή του υλικού που πρόκειται να εξατμιστεί (υλικό φιλμ). Κάτω από τον βομβαρδισμό ιόντων από το αέριο εργασίας ή το υλικό που πρόκειται να εξατμιστεί, το εξατμισμένο υλικό ή τα αντιδρώντα του εναποτίθενται στην επιφάνεια του υποστρώματος.
Η επίστρωση έχει καλή πρόσφυση, η μεμβράνη δεν πέφτει εύκολα, η επίστρωση έχει καλές ιδιότητες περιτύλιξης, η επιφανειακή κάλυψη βελτιώνεται, η ποιότητα της επίστρωσης είναι καλή, ο ρυθμός εναπόθεσης είναι υψηλός, η ταχύτητα σχηματισμού μεμβράνης είναι γρήγορη και η γκάμα υλικών υποστρώματος και υλικών φιλμ στα οποία εφαρμόζεται η επίστρωση είναι μεγάλη.
Ο εξοπλισμός επίστρωσης κενού ιόντων διαθέτει πολλά πλεονεκτήματα, γεγονός που οδηγεί στην ευρεία εφαρμογή του στην αγορά. Οι κοινές εφαρμογές περιλαμβάνουν υπερσκληρές επικαλύψεις για εργαλεία και καλούπια και διακοσμητικές επιστρώσεις για εξοπλισμό γκολφ, ρολόγια, εξαρτήματα μπάνιου, φωτιστικά, σκελετό γυαλιών, προϊόντα υλικού, κεραμικά και γυαλί. Είναι ένα εξαιρετικά αποδοτικό και χωρίς ρύπανση-σύστημα επίστρωσης ιόντων, που χαρακτηρίζεται από ταχεία εναπόθεση, υψηλό ρυθμό ιονισμού, υψηλή ενέργεια ιόντων, απλή λειτουργία, χαμηλό κόστος και υψηλή παραγωγική ικανότητα.
