Σε πολλά έργα PVD, ένα πολύ τυπικό πρόβλημα αντιμετωπίζεται συχνά:
Στο ίδιο τεμάχιο εργασίας, ορισμένες περιοχές είναι πολύ παχιές, ενώ άλλες είναι πολύ λεπτές, μερικές φορές με πολύ εμφανείς διαφορές.
Η πρώτη αντίδραση πολλών ανθρώπων είναι: Υπάρχει πρόβλημα με το περιστρεφόμενο πλαίσιο; Είναι ανομοιόμορφη η περιστροφή;
Ξεκινούν λοιπόν: Έλεγχος του κινητήρα, ρύθμιση στροφών, βελτιστοποίηση του εξαρτήματος.
Αλλά το αποτέλεσμα είναι συχνά: Περιορισμένη βελτίωση ή ακόμα και καμία αλλαγή.
Αυτό δείχνει ένα βασικό σημείο:
Το ανομοιόμορφο πάχος δεν είναι απλώς «πρόβλημα περιστροφής», αλλά και «πρόβλημα κατανομής πλάσματος».
Πρώτον, το συμπέρασμα: Πρόκειται για «πρόβλημα χωρικής κατανομής».
Το πάχος του φιλμ εξαρτάται ουσιαστικά από: την ατομική ροή που φτάνει στην επιφάνεια ανά μονάδα χρόνου.
Και αυτή η ροή είναι συχνά: χωρικά μη-ομοιόμορφη.
Με άλλα λόγια: η "ροή υλικού" που λαμβάνεται από το τεμάχιο εργασίας ποικίλλει σε διαφορετικές θέσεις.
Δεύτερος. Τι ακριβώς λύνει η περιστροφή;
Η κατανόηση πολλών ανθρώπων για την περιστροφή είναι:
"Κάντε το στρώμα του φιλμ ομοιόμορφο"
Αλλά μια πιο ακριβής κατανόηση είναι:
Η περιστροφή απλώς «εξασφαλίζει τον μέσο όρο της ανομοιομορφίας» αντί να την εξαλείφει.
Για ένα απλό παράδειγμα: Εάν η κατανομή του πλάσματος είναι: ισχυρή στη μία πλευρά, ασθενής στη μία πλευρά, μετά την περιστροφή: Το τεμάχιο εργασίας θα περνά περιοδικά από τις ισχυρές και αδύναμες περιοχές. Το αποτέλεσμα: Λαμβάνεται μια "μέση τιμή".
Όμως η υπόθεση είναι:
Η διαφορά δεν μπορεί να είναι πολύ μεγάλη
Αν η διαφορά είναι πολύ μεγάλη:
Όσο και να το γυρίσετε, δεν θα είναι ποτέ εντελώς ομοιόμορφο.
Τρίτος. Πότε είναι το «πρόβλημα περιστροφής»;
Χαρακτηριστικό 1: Το πάχος αλλάζει περιοδικά
Για παράδειγμα:
Το πάχος αλλάζει τακτικά με κάθε περιστροφή
Χαρακτηριστικό 2: Κακή συνοχή μεταξύ των διαφορετικών τεμαχίων. άλλα είναι καλά, άλλα είναι κακά.
Χαρακτηριστικό 3: Σημαντική βελτίωση στη ρύθμιση της ταχύτητας.
Συνήθεις αιτίες: Ασταθής ταχύτητα περιστροφής. Περιστροφική εκκεντρικότητα; Ασύμμετρη τοποθέτηση τεμαχίου εργασίας.
Συμπέρασμα: Το βασικό ζήτημα στα προβλήματα περιστροφής είναι η "άνιση κατανομή χρόνου".
Εμπρός. Πότε είναι «πρόβλημα πλάσματος»; (Πιο κοινό)
Χαρακτηριστικό 1: Πάντα χοντρό προς μια συγκεκριμένη κατεύθυνση
Ανεξάρτητα από το πώς περιστρέφεται, αυτή η περιοχή είναι πάντα πιο παχιά.
Χαρακτηριστικό 2: Συνολική "χωρική μετατόπιση"
Για παράδειγμα: Η πλευρά που βρίσκεται πιο κοντά στον στόχο είναι πιο παχιά, ενώ η πιο μακριά είναι πιο λεπτή.
Χαρακτηριστικό 3: Όλα τα τεμάχια εργασίας παρουσιάζουν παρόμοια σχέδια.
Συνήθεις αιτίες:
1. Ανομοιόμορφη κατανομή μαγνητικού πεδίου. Ανώμαλη διάβρωση στόχου. Ανομοιόμορφη πυκνότητα πλάσματος
2. Επίδραση της δομής της κοιλότητας: Απόφραξη, Ανάκλαση
3. Παρεμβολή πολλαπλών-στόχων: Ανομοιόμορφη υπέρθεση μεταξύ διαφορετικών στόχων.
4. Παράλογος σχεδιασμός θέσης τεμαχίου εργασίας
Σύναψη:
Ο πυρήνας του προβλήματος του πλάσματος είναι η "άνιση χωρική πηγή"
Πέμπτος. Μια βασική παρανόηση
Πολλοί άνθρωποι, όταν αντιμετωπίζουν ανομοιομορφίες,
η πρώτη τους αντίδραση είναι να προσαρμόσουν την περιστροφή. Αλλά στην πραγματικότητα: Η περιστροφή μπορεί μόνο να ανακουφίσει το πρόβλημα, όχι να το θεραπεύσει.
Εάν η βασική αιτία είναι η σοβαρή ανομοιογένεια του πλάσματος, τότε η αύξηση της ταχύτητας περιστροφής είναι απλώς μια προσωρινή λύση.
Εκτος. Πώς να προσδιορίσετε γρήγορα τον τύπο του προβλήματος;
Ακολουθεί μια πρακτική μέθοδος:
Μέθοδος 1: Στερεώστε το τεμάχιο εργασίας (χωρίς περιστροφή)
Παρατηρήστε: Κατανομή πάχους φιλμ
Εάν σε αυτό το σημείο: Η κατανομή είναι ήδη πολύ άνιση. Συμπέρασμα: Πρόβλημα πλάσματος.
Μέθοδος 2: Αλλάξτε την ταχύτητα περιστροφής
Αν:
Αλλαγή στην ταχύτητα περιστροφής → Σημαντική αλλαγή στην ομοιομορφία
Συμπέρασμα: Πρόβλημα περιστροφής
Μέθοδος 3: Αλλάξτε τη θέση του τεμαχίου εργασίας
Εάν: Αλλαγή θέσης → Αλλαγή κατανομής
Συμπέρασμα: Πρόβλημα χωρικής κατανομής
Εβδομος. Πραγματικά αποτελεσματικές στρατηγικές βελτιστοποίησης
1. Δώστε προτεραιότητα στην αντιμετώπιση της "Χωρικής Κατανομής"
Βελτιστοποίηση της θέσης στόχου. ρυθμίστε το μαγνητικό πεδίο. βελτίωση της δομής της κοιλότητας
2. Περαιτέρω Βελτιστοποίηση της Στρατηγικής Εναλλαγής
Ταχύτητα περιστροφής
Τροχιά περιστροφής
Λειτουργία ταλάντωσης
3. Βελτιστοποιήστε την τοποθέτηση του τεμαχίου εργασίας: Αποφύγετε την παρεμπόδιση και βελτιώστε τη συμμετρία.
4. Σχεδιασμός συνεργασίας πολλαπλών-στόχων: Επιτρέπει σε διαφορετικούς στόχους να σχηματίσουν μια "ομοιόμορφη υπέρθεση".
Ογδοο. Μια βασική γνωστική αναβάθμιση
Πολλοί άνθρωποι κατανοούν το πρόβλημα ως εξής:
«Η ανομοιόμορφη δομή της μεμβράνης είναι ένα μηχανικό πρόβλημα».
Αλλά μια πιο θεμελιώδης κατανόηση είναι:
Αυτό είναι ένα πρόβλημα «άνισων μαζικών μεταφορών».
Με άλλα λόγια, η διαδρομή του υλικού από τον στόχο προς το τεμάχιο εργασίας είναι χωροταξικά μη-ομοιόμορφη.
Ενατος. Τελική Περίληψη
Είναι μια μεγάλη διαφορά πάχους στο ίδιο τεμάχιο εργασίας ένα πρόβλημα που σχετίζεται με την περιστροφή-ή με το πλάσμα;
Η απάντηση είναι:
Θα μπορούσε να είναι ένα πρόβλημα περιστροφής, αλλά πιο συχνά είναι ζήτημα κατανομής πλάσματος. Η βασική διαφορά είναι:
Ζητήματα περιστροφής → χρονική ανομοιομορφία. Ζητήματα που σχετίζονται με το πλάσμα-→ χωρική ανομοιομορφία.
