Πολλές επιχειρήσεις εξετάζουν το ενδεχόμενο μέτρησης του στρώματος μεμβράνης μετά τη χρήση μηχανών επίστρωσης κενού για να διασφαλίσουν την ποιότητά του.
Ωστόσο, το στρώμα μεμβράνης είναι πολύ λεπτό, κάνοντας τη μέτρηση να φαίνεται σαν μια μυστηριώδης διαδικασία.
Σήμερα, το Puyuan Vacuum θα εισαγάγει τις μεθόδους για τη μέτρηση και την παρακολούθηση των στρώσεων επίστρωσης, ελπίζοντας να είναι χρήσιμη σε όλους.
Η πιο άμεση μέθοδος για τον έλεγχο της διαδικασίας επίστρωσης σε μια μηχανή επικάλυψης κενού είναι η μέθοδος μικροζυγών κρυστάλλων χαλαζία (QCM).
Αυτό το όργανο μπορεί να οδηγήσει απευθείας την πηγή εξάτμισης και να διατηρήσει τον ρυθμό εξάτμισης οδηγώντας κυκλικά τα διαφράγματα μέσω του ελέγχου PID.
Μόλις το όργανο συνδεθεί με το λογισμικό ελέγχου συστήματος, μπορεί να ελέγξει ολόκληρη τη διαδικασία επίστρωσης. Ωστόσο, η ακρίβεια του QCM είναι περιορισμένη, εν μέρει επειδή παρακολουθεί την ποιότητα της επίστρωσης και όχι το οπτικό πάχος της.
Επιπλέον, ενώ το QCM είναι πολύ σταθερό σε χαμηλότερες θερμοκρασίες, γίνεται ιδιαίτερα ευαίσθητο στις αυξήσεις της θερμοκρασίας. Κατά τη διάρκεια παρατεταμένης θέρμανσης, είναι δύσκολο να αποτραπεί η πτώση του αισθητήρα σε αυτήν την ευαίσθητη περιοχή, προκαλώντας έτσι σημαντικά σφάλματα στο στρώμα του φιλμ.
Η οπτική παρακολούθηση είναι η προτιμώμενη μέθοδος παρακολούθησης για επιστρώσεις υψηλής ακρίβειας{{0}, επειδή επιτρέπει τον ακριβέστερο έλεγχο του πάχους του φιλμ (εάν χρησιμοποιείται σωστά). Η βελτιωμένη ακρίβεια πηγάζει από πολλούς παράγοντες, αλλά ο πιο θεμελιώδης λόγος είναι η παρακολούθηση του οπτικού πάχους.
Το σύστημα οπτικής παρακολούθησης μονού μήκους κύματος OPTIMALSWA-I-05 χρησιμοποιεί έμμεση μέτρηση και έλεγχο, σε συνδυασμό με προηγμένο λογισμικό οπτικής παρακολούθησης που αναπτύχθηκε.
Βελτιώνει αποτελεσματικά την ευαισθησία των οπτικών αποκρίσεων σε αλλαγές στο πάχος του φιλμ, μειώνοντας τα τελικά σφάλματα και παρέχοντας μια επιλογή τρόπων ανάδρασης ή μετάδοσης και ένα ευρύ φάσμα μηκών κύματος παρακολούθησης. Είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για την παρακολούθηση επιστρώσεων διαφόρων πάχους, συμπεριλαμβανομένων των ακανόνιστων μεμβρανών.
https://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine?lang=zh-Χανς
