1. Ραδιοσυχνότητα (RF) – η πηγή ενέργειας για το PECVD
Με απλά λόγια, η ραδιοσυχνότητα (RF) είναι η κινητήρια δύναμη του PECVD. Καθορίζει εάν μπορεί να δημιουργηθεί πλάσμα, πόσο ισχυρή είναι η παραγωγή και πόσο υψηλή είναι η απόδοση εναπόθεσης.
2. Λάμψη εκκένωσης-η "έκφραση" του πλάσματος
Η εκκένωση λάμψης είναι ένα φαινόμενο ορατού φωτός που εμφανίζεται φυσικά μετά τη διέγερση του πλάσματος.
Όταν ένα αέριο ιονίζεται στο πλάσμα από ένα ηλεκτρικό πεδίο ραδιοσυχνότητας, τα ηλεκτρόνια μέσα θα μεταπηδούν συνεχώς μεταξύ υψηλών και χαμηλών επιπέδων ενέργειας. Αυτή η διαδικασία απελευθερώνει φωτόνια. Όταν ένας μεγάλος αριθμός φωτονίων συνδυάζεται μαζί, σχηματίζουν το φως που βλέπουμε μέσα από το παράθυρο παρατήρησης, το οποίο ονομάζεται λάμψη.
Η λάμψη δεν είναι ούτε διακόσμηση ούτε υποπροϊόν. αντανακλά άμεσα την πραγματική κατάσταση του πλάσματος.
Διαφορετικά αέρια, παράμετροι και συνθήκες θαλάμου θα οδηγήσουν σε διακυμάνσεις στο χρώμα, τη φωτεινότητα και την ομοιομορφία της λάμψης του πλάσματος. Μια σταθερή λάμψη υποδηλώνει ένα υγιές πλάσμα, ενώ το τρεμόπαιγμα ή η μη φυσιολογική λάμψη υποδηλώνει πρόβλημα με τον εξοπλισμό ή τη διαδικασία.
Εν ολίγοις, η εκκένωση λάμψης είναι η έκφραση και η γλώσσα του πλάσματος, την οποία χρησιμοποιούν οι μηχανικοί για να κρίνουν εάν ο εξοπλισμός είναι υγιής και η διαδικασία είναι σταθερή.
Η λάμψη μπορεί να είναι διαφορετικών χρωμάτων.
Το χρώμα της λάμψης ποικίλλει ανάλογα με το αέριο.
Νέον (Neon): Εκπέμπει κλασικό κόκκινο-πορτοκαλί φως (φως νέον)
Αργόν (Ar): εκπέμπει ένα γαλαζωπό-ιώδες φως.
Άζωτο (N2): εκπέμπει ένα ροζ-μωβ φως.
Οξυγόνο (O2): εκπέμπει ανοιχτό κίτρινο ή λευκό φως.
Ατμοί νατρίου (Na): εκπέμπει ένα πολύ έντονο κίτρινο φως.
2. Σχέση μεταξύ ραδιοσυχνότητας και εκκένωσης λάμψης
Η ραδιοσυχνότητα και η εκφόρτιση λάμψης δεν είναι δύο ανεξάρτητα πράγματα, αλλά μάλλον έχουν μια αιτιακή σχέση, μια συμβιωτική σχέση και μια σχέση παρακολούθησης.
Η ραδιοσυχνότητα παρέχει ενέργεια και είναι η αιτία σχηματισμού πλάσματος.
Η εκκένωση λάμψης συνοδεύει την εμφάνιση του πλάσματος και είναι μια εξωτερική εκδήλωση του πλάσματος.
Χωρίς ραδιοσυχνότητα, δεν υπάρχει πλάσμα, άρα και λάμψη.
Η απουσία σταθερής και ομοιόμορφης λάμψης υποδηλώνει κακή μετάδοση ενέργειας ραδιοσυχνοτήτων, ανομοιόμορφη κατανομή ηλεκτρικού πεδίου και μη φυσιολογική κατάσταση θαλάμου.
3. Η πιο απλή περίληψη
Η ραδιοσυχνότητα (RF) είναι ο ενεργειακός πυρήνας του PECVD, υπεύθυνος για την παραγωγή και τον έλεγχο του πλάσματος.
Η εκκένωση λάμψης είναι μια έκφραση κατάστασης του πλάσματος και είναι υπεύθυνη για την αντανάκλαση του αν η διαδικασία είναι σταθερή.
Εάν η ραδιοσυχνότητα είναι σταθερή, η εκκένωση λάμψης θα είναι σταθερή.
Η σταθερή εκκένωση λάμψης εξασφαλίζει σταθερή ποιότητα φιλμ.
