Η απόδοση στεγανοποίησης είναι μια κρίσιμη πτυχή του σχεδιασμού του εξοπλισμού επίστρωσης κενού, καθώς η ποιότητά του επηρεάζει άμεσα το εάν το επίπεδο κενού που απαιτείται για την επίστρωση μπορεί να επιτευχθεί κατά την επόμενη διαδικασία σκούπας. Εάν αυτή η απαίτηση δεν ικανοποιηθεί, θα επηρεάσει άμεσα τον σχηματισμό και την ποιότητα του φιλμ. Για να διασφαλιστεί η καλή απόδοση στεγανοποίησης του εξοπλισμού ή των συστημάτων επίστρωσης υπό κενό, δεν είναι καθόλου επαρκής ο απλός εντοπισμός και ο αποκλεισμός διαρροών μετά την εγκατάσταση. Είναι απαραίτητο να διεξάγεται ανίχνευση διαρροής κενού σε όλα τα στάδια του σχεδιασμού, της κατασκευής, της θέσης σε λειτουργία και της χρήσης του εξοπλισμού ή του συστήματος επίστρωσης κενού.
Σχεδιασμοί γιαΜηχανή επίστρωσης κενού
1. Προσδιορίστε το συνολικό μέγιστο επιτρεπόμενο ποσοστό διαρροής του εξοπλισμού κενού με βάση τις απαιτήσεις της διαδικασίας και, στη συνέχεια, καθορίστε το μέγιστο επιτρεπόμενο ποσοστό διαρροής κάθε στοιχείου με βάση αυτόν τον συνολικό ρυθμό διαρροής.
2. Με βάση το μέγιστο επιτρεπόμενο ποσοστό διαρροής και άλλους δείκτες του εξοπλισμού, καθορίστε προκαταρκτικά τις μεθόδους ανίχνευσης διαρροών που θα χρησιμοποιηθούν κατά τη φάση σχεδιασμού και χρησιμοποιήστε τις ως μία από τις βασικές αρχές που καθοδηγούν τη θέση σε λειτουργία και την αποδοχή.
3. Με βάση τους δείκτες μέγιστου επιτρεπόμενου ρυθμού διαρροής του εξοπλισμού ή των εξαρτημάτων, προσδιορίστε τις μεθόδους στεγανοποίησης και σύνδεσης και τη συνολική ακρίβεια μηχανικής κατεργασίας του εξοπλισμού, καθώς και ποιος τύπος δυναμικής στεγανοποίησης μπορεί να ικανοποιήσει τις απαιτήσεις. Για παράδειγμα, εάν θα χρησιμοποιηθούν μεταλλικές στεγανοποιήσεις ή λαστιχένιες σφραγίδες για φλάντζες.
4. Κατά το σχεδιασμό της δομικής αντοχής του δοχείου, λάβετε υπόψη την αντίσταση πίεσης και τη δομική αντοχή που απαιτούνται για το εξεταζόμενο εξάρτημα εάν χρησιμοποιείται μέθοδος ανίχνευσης διαρροής πίεσης.
5. Κατά την επιλογή δομικών υλικών για εξαρτήματα, εξετάστε εάν χρησιμοποιούνται υλικά που ενδέχεται να υποστούν διάβρωση και ζημιά από το μέσο εργασίας και διαρροή{1}}αερίου δοκιμής.
6. Κατά τη διάρκεια του δομικού σχεδιασμού, θα πρέπει να παρέχονται απαραίτητες εφεδρικές διεπαφές για όργανα ανίχνευσης διαρροών στο δοχείο ή το σύστημα για χρήση κατά τη συναρμολόγηση και τη θέση σε λειτουργία του εξοπλισμού. Ειδικά για μεγάλα και πολύπλοκα συστήματα σωληνώσεων, απαιτούνται συχνά τμηματικές μέθοδοι ανίχνευσης διαρροών. Επομένως, θα πρέπει να εγκατασταθούν τμηματοποιημένες βαλβίδες απομόνωσης στον αγωγό και οι διεπαφές οργάνων ανίχνευσης διαρροών θα πρέπει να δεσμεύονται σε κάθε τμήμα απομόνωσης.
7. Όταν σχεδιάζετε τα δομικά εξαρτήματα, αποφύγετε σχέδια σχεδιασμού που μπορεί να επηρεάσουν τον εντοπισμό διαρροών. Για παράδειγμα, οι τυφλές οπές δεν πρέπει να χρησιμοποιούνται για οπές βιδών στον θάλαμο κενού, επειδή μετά την τοποθέτηση της βίδας, το αέριο στον υπόλοιπο χώρο μέσα στην οπή της βίδας μπορεί να διαφύγει μόνο μέσω του κενού σπειρώματος, σχηματίζοντας ψευδή διαρροή. Αυτό παρατείνει το χρόνο εκκένωσης του συστήματος και παρεμποδίζει την κανονική ανίχνευση διαρροών. Δείτε το διάγραμμα για δομές που δεν πρέπει να εμφανίζονται στην ανίχνευση διαρροής κενού.
8. Ομοίως, οι συνεχείς-συγκολλήσεις διπλής όψεως και οι δομές δακτυλίου στεγανοποίησης πολλαπλών-στρώσεων δεν επιτρέπονται στον δομικό σχεδιασμό, καθώς θα δημιουργήσουν έναν "παρασιτικό όγκο" στη μέση, προκαλώντας διαρροή του αερίου μέσα. Επιπλέον, όταν τόσο οι εσωτερικές όσο και οι εξωτερικές συγκολλήσεις ή οι δακτύλιοι στεγανοποίησης παρουσιάζουν διαρροή ταυτόχρονα, ο "παρασιτικός όγκος" καθιστά τον χρόνο απόκρισης για το διαρρέον αέριο να περάσει από τη συγκόλληση διπλής-στρωματικής συγκόλλησης, καθιστώντας αδύνατη την κανονική ανίχνευση διαρροών.
9. Στο σχεδιασμό συγκολλημένων κατασκευών, ελαχιστοποιήστε τον αριθμό των συγκολλήσεων που δεν μπορούν να ανιχνευθούν για διαρροές μετά την τελική συναρμολόγηση.
Τα παραπάνω σημεία είναι προφυλάξεις για την ανίχνευση διαρροών σε εξοπλισμό επίστρωσης κενού. Η ποιότητα της απόδοσης στεγανοποίησης καθορίζει άμεσα εάν ο εξοπλισμός μπορεί να γίνει επιτυχώς αποδεκτός και εάν η ποιότητά του πληροί τα πρότυπα.
