Γιατί η λεπτή εξαγωγή σε μια μηχανή επίστρωσης κενού είναι πολύ αργή

Jun 01, 2026

Αφήστε ένα μήνυμα

PVD coating equipment magnetron sputtering coating machine

 

Οι κύριοι λόγοι για την αργή εξαγωγή ακριβείας σε αμηχανή επίστρωσης κενούμπορεί να βρεθεί στις ακόλουθες πτυχές:


1. Η αντλία διάχυσης μπορεί να είναι ανεπαρκής.
Λύση: Συνδέστε ένα μετρητή ιονισμού στην είσοδο της αντλίας διάχυσης για να παρατηρήσετε τη χωρητικότητα της αντλίας. Παρατηρήστε το χρόνο άντλησης και τα όριά του και μετά συγκρίνετε τα αποτελέσματα.

 

2. Υπάρχει μια μικρή διαρροή στο σύστημα αναρρόφησης.
Λύση: Αυτό απαιτεί προσεκτική ανίχνευση διαρροών για να ελεγχθεί εάν ο χρόνος διατήρησης του κενού πληροί τα απαιτούμενα πρότυπα.
 

3. Το περίβλημα είναι πολύ βρώμικο. ένα βρώμικο περίβλημα έχει ως αποτέλεσμα μεγαλύτερη απελευθέρωση αέρα.
Λύση: Καθαρίστε το περίβλημα.
 

4. Ανεπαρκές κενό υποστήριξης. το απόλυτο κενό της μηχανικής αντλίας ή της μηχανικής αντλίας συν αντλία Roots είναι ανεπαρκές.
Λύση: Χρησιμοποιήστε ένα μετρητή αντίστασης για να ελέγξετε ξεχωριστά τις σωληνώσεις στήριξης.
 

Αργή πίεση ακόμη και χωρίς-φορτίο: Συχνά λόγω διαρροών, δυσλειτουργίας αντλίας ή απόφραξης του αγωγού.
Κανονική χωρίς-πίεση φορτίου, αλλά αργή πίεση μετά τη φόρτωση: Γενικά λόγω εξαερισμού του τεμαχίου εργασίας/εργαλείου ή της υγρασίας της πρώτης ύλης.
Συχνές διακυμάνσεις πίεσης: Τυπικό σημείο διαρροής.
Αργή μείωση της πίεσης αλλά δεν φτάνει το πρότυπο: Συχνά λόγω-εξαερισμού μεγάλης περιοχής ή απόφραξης παγίδας κρύου.
 

Επιβραδύνετε-την αντλία χωρίς φορτίο → Ελέγξτε για διαρροές, αντικαταστήστε το λάδι της αντλίας κενού, καθαρίστε την παγίδα κρύου και τα φίλτρα.
Επιβράδυνση της άντλησης-με το φόρτο εργασίας → Στεγνώστε τα τεμάχια εργασίας, παρατείνετε τον χρόνο πριν-άντλησης, ψήστε τα εξαρτήματα/ζονάκια.
Κυμαινόμενη πίεση → Εντοπίστε σημεία διαρροής, επισκευάστε τις βαλβίδες κενού.
Επιβραδύνετε τη σταθερή αντλία-(χωρίς διακύμανση της πίεσης) → Καθαρίστε τα μπλοκαρίσματα, εκτελέστε ψήσιμο σε πλήρη θάλαμο-για απαέρωση.

 

Καθημερινή Πρόληψη & Τακτική Συντήρηση (Για την Αποφυγή Υποτροπής)

Καθημερινά: Ελέγξτε τη στάθμη λαδιού της αντλίας, το νερό ψύξης και την πίεση της πηγής αέρα. καθαρίστε τη σκόνη από την επιφάνεια των στεγανοποιήσεων της πόρτας.

Εβδομαδιαία: Καθαρίστε το κύριο φίλτρο, παρατηρήστε την παγίδα κρύου για παγετό και ξεπαγώστε όπως χρειάζεται.

Μηνιαία: Τυχαία λειτουργία βαλβίδας ελέγχου και σφράγιση σωληνώσεων. πραγματοποιήστε απαέρωση και ψήσιμο στο εργαλείο.

Τριμηνιαία/Εξαμηνιαία-ετησίως: Αλλάξτε το λάδι της αντλίας κενού για ολόκληρη τη μονάδα. πραγματοποιήστε βαθιά αποσυναρμολόγηση και καθαρισμό της παγίδας κρύου, των διαφραγμάτων και των σωληνώσεων.

 

Τυπικές διαδικασίες λειτουργίας: Βεβαιωθείτε ότι τα τεμάχια εργασίας είναι καλά στεγνά. ελαχιστοποιήστε την είσοδο υγρασίας-φορτωμένων ή πτητικών υλικών στον θάλαμο. αποφύγετε το άνοιγμα της πόρτας εκτός αν είναι απολύτως απαραίτητο.

Αποστολή ερώτησής
Επικοινωνήστε μαζί μαςΕάν έχετε οποιαδήποτε ερώτηση

Μπορείτε είτε να επικοινωνήσετε μαζί μας μέσω τηλεφώνου, ηλεκτρονικού ταχυδρομείου ή ηλεκτρονικής φόρμας παρακάτω. Ο ειδικός μας θα επικοινωνήσει μαζί σας σύντομα.

Επικοινωνήστε τώρα!