Μηχανή επίστρωσης κενού Magnetron Sputtering

Η μηχανή επίστρωσης κενού Magnetron είναι μια ευρέως χρησιμοποιούμενη τεχνολογία φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD). Ο πυρήνας του είναι η χρήση μαγνητικού πεδίου για τον περιορισμό της κίνησης των ηλεκτρονίων, βελτιώνοντας σημαντικά την απόδοση εκτόξευσης και την ποιότητα του φιλμ.

Το βασικό χαρακτηριστικό του είναι η χρήση μαγνητικών πεδίων για τον περιορισμό της τροχιάς της κίνησης των ηλεκτρονίων, βελτιώνοντας σημαντικά την απόδοση της εκτόξευσης και τον ρυθμό εναπόθεσης.

Χαρακτηριστικά Εξοπλισμού

Ανεξάρτητο ενιαίο-σύστημα κενού θαλάμου
Διαθέτει έναν προσαρμοσμένο-θάλαμο από ανοξείδωτο χάλυβα με γυαλισμένες συγκολλήσεις και εξαιρετικό συνολικό έλεγχο του ρυθμού διαρροών, οι διαστάσεις του θαλάμου μπορούν να προσαρμοστούν σε προσαρμοσμένες προδιαγραφές.

Μονάδα θεραπείας με πηγή ιόντων πριν-
Χρησιμοποιεί καθαρισμό ιόντων πλάσματος για να βομβαρδίσει και να ενεργοποιήσει την επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας πριν από την επίστρωση, ενισχύοντας σημαντικά την πρόσφυση του φιλμ. Διαθέτει μια προαιρετική διαδικασία ιόντων χαμηλής-θερμοκρασίας, η οποία επιτρέπει την επεξεργασία-ευαίσθητων υποστρωμάτων στη θερμότητα-όπως πλαστικά και ακρυλικά-χωρίς να προκαλείται παραμόρφωση του τεμαχίου εργασίας.

Πλήρως αυτοματοποιημένο ανθρώπινο-σύστημα ελέγχου μηχανών
Διαθέτει αυτόνομο ηλεκτρικό πίνακα ελέγχου και λειτουργία οθόνης αφής, η όλη διαδικασία εκτελείται αυτόματα, με δυνατότητα αποθήκευσης πολλαπλών συνταγών επικάλυψης.

Σε-πλανητικό πικάπ θαλάμου
Τα φωτιστικά του τεμαχίου εργασίας περιστρέφονται γύρω από το περιστρεφόμενο τραπέζι, διασφαλίζοντας ομοιόμορφο πάχος μεμβράνης και σταθερή ποιότητα επίστρωσης, τα εξαρτήματα είναι εναλλάξιμα για να χωρέσουν διαφορετικά προϊόντα.

 

 

Διακοσμητικά επιχρίσματα

Είδη μπάνιου, σκελετοί γυαλιών, θήκες ρολογιών, μεσαία-κουφώματα κινητών τηλεφώνων, φωτιστικά, χειροτεχνήματα, κεφαλές ράβδου γκολφ κ.λπ. Τα φινιρίσματα περιλαμβάνουν χρυσό τιτάνιο, μαύρο gunmetal, χρώμιο και έγχρωμες διακοσμητικές επικαλύψεις.

 

Λειτουργικές επικαλύψεις

Αντι-ανακλαστικές/ανακλαστικές επικαλύψεις γυαλιού, κεραμικές επικαλύψεις, ανθεκτικές στη φθορά επιστρώσεις μούχλας, επικαλύψεις θωράκισης EMI, λεπτές μεμβράνες αισθητήρων.

 

Κατάλληλα υποστρώματα

Ανοξείδωτο ατσάλι, χαλκός και αλουμίνιο, γυαλί, κεραμικά, πλαστικά ABS/PC κ.λπ.

 

 

Το μαγνητικό πεδίο περιορίζει τα ηλεκτρόνια

Υψηλός ρυθμός ιονισμού, γρήγορος ρυθμός εναπόθεσης, υψηλή απόδοση παραγωγής

Υψηλός ρυθμός εκτόξευσης

Εναπόθεση σε χαμηλή θερμοκρασία

Υψηλή ποιότητα φιλμ:

Ισχυρή πρόσφυση, συμπαγή, καλή δυνατότητα ελέγχου σύνθεσης, καλή ομοιομορφία

Η μηχανή επικάλυψης κενού διασκορπισμού μαγνητρόν επιτυγχάνει υψηλό ρυθμό ιονισμού, υψηλό ρυθμό διασκορπισμού και εναπόθεση χαμηλής θερμοκρασίας λόγω του βασικού της χαρακτηριστικού των ηλεκτρονίων που περιορίζουν το μαγνητικό πεδίο.

Αυτό φέρνει σημαντικά πλεονεκτήματα όπως υψηλή απόδοση εναπόθεσης, μεγάλο εύρος εφαρμογής υποστρωμάτων (ειδικά υποστρώματα με χαμηλή αντοχή στη θερμότητα), εξαιρετική ποιότητα φιλμ (ισχυρή πρόσφυση, πυκνότητα, ελεγχόμενη σύνθεση, καλή ομοιομορφία) και ισχυρή ευελιξία διεργασίας.

Αυτά τα πλεονεκτήματα το καθιστούν μία από τις προτιμώμενες ή κύριες τεχνολογίες PVD σε πολλούς τομείς όπως η οπτική επίστρωση, η μικροηλεκτρονική/ημιαγωγοί, οι ηλιακές κυψέλες, οι επίπεδες οθόνες, οι σκληρές επιστρώσεις εργαλείων, οι διακοσμητικές επιστρώσεις, οι ανθεκτικές στη φθορά και η διάβρωση{1} επιστρώσεις και οι λειτουργικές μεμβράνες.