Λειτουργική αρχή:

Η μηχανή επικάλυψης πολλαπλών τόξων είναι ένας εξοπλισμός που χρησιμοποιεί την αρχή της εκκένωσης τόξου κενού για να εξατμιστεί και να ιονίζει τον στόχο της καθόδου (υλικό προέλευσης) σε περιβάλλον κενού και να το καταθέσει στην επιφάνεια του τεμαχίου για να σχηματίσει ένα λεπτό φιλμ.

Εφαρμογές:

Βελτιώστε την απόδοση και τη ζωή των εργαλείων, των κοπτήρων και των καλουπιών (σκληρή επικάλυψη)
Παρέχει αισθητικά ευχάριστες, ανθεκτικές, φιλικές προς το περιβάλλον διακοσμητικές επιφάνειες (διακοσμητικά επικαλύψεις)
Βελτιώστε την αντίσταση στη φθορά, τη μείωση της τριβής και την αντίσταση στη διάβρωση των μηχανικών εξαρτημάτων (λειτουργική επικάλυψη)

Χαρακτηριστικά:

Υψηλός ρυθμός ιονισμού:

Εξαιρετική συγκόλληση ταινιών, εξαιρετική πυκνή δομή και καλή απόδοση.

Βομβαρδισμός ιόντων υψηλής ενέργειας:

Βοηθά στη διαμόρφωση πυκνών, έντονα συνδεδεμένων μεμβρανών και μπορεί να εναποτίθεται σε χαμηλότερες θερμοκρασίες.

Υψηλό ποσοστό εναπόθεσης:

Σε σύγκριση με άλλες τεχνολογίες PVD, η πολυεπίπεδη επένδυση έχει γενικά υψηλότερο ποσοστό εναπόθεσης.

Κατάλληλο για σκληρές επικαλύψεις:

Είναι ιδιαίτερα καλό στην κατάθεση διαφόρων μεταλλικών νιτρίδων, καρβίδων, οξειδίων και άλλων υπερ-σκληρής, ανθεκτικών σε φθορά και ανθεκτικών σε διάβρωση επικαλύψεις (όπως κασσίτερο, CRN, Tialn, DLC κ.λπ.) και χρησιμοποιείται ευρέως σε εργαλεία, καλούπια, εξαρτήματα ανθεκτικά στη φθορά, διακοσμητικά επένδυση και άλλα επίπεδα.

Προσδιορισμός:

Μηχανή επικάλυψης πολλαπλών τόξων
Μοντέλο	HL-600	HL-800	HL-1000	HL-1200	HL-1400	HL-1500	HL-1600
Μέγεθος θαλάμου	Φ600 × 800mm	Φ800 × 1000mm	Φ1000 × 1200mm	Φ1200 × 1400mm	Φ1400 × 1600mm	Φ1500 × 1500mm	Φ1600 × 1800mm
Μονάδα κενού	Μονάδα αντλίας διάχυσης KT400	Μονάδα αντλίας διάχυσης KT500	Μονάδα αντλίας διάχυσης KT500	Μονάδα αντλίας διάχυσης KT630	Διπλή μονάδα αντλίας διάχυσης KT630	Διπλή μονάδα αντλίας διάχυσης KT630	Διπλή μονάδα αντλίας διάχυσης KT630
Σύστημα επικάλυψης	Αφιερωμένη τροφοδοσία ρεύματος πολλαπλών τόξων + πολλαπλών λειτουργιών Twin Magnetic Ring Target + Cylindrical Arc Target (Προαιρετικό)
Βοηθητικό σύστημα επικάλυψης	Πηγή υποβοηθούμενης από ιόντα χαμηλής θερμοκρασίας (δεν απαιτείται σύστημα θέρμανσης εκτός από την επιμετάλλωση εργαλείων)
Σύστημα πληθωρισμού	Μετρητής ροής μάζας
Μέθοδος ελέγχου	Χειροκίνητο ή πλήρως αυτόματο
Ρυθμός άντλησης	5 × 10-3pa ﹤ 15 λεπτά
Τελικό κενό	5x10-4pa
Παρατήρηση	Οι παραπάνω παράμετροι εξοπλισμού είναι μόνο για αναφορά και σχεδιάζονται και προσαρμόστηκαν σύμφωνα με τις πραγματικές απαιτήσεις διαδικασίας των πελατών.