Οριζόντια γραμμή επικάλυψης μαγνητρονίου

Η οριζόντια γραμμή παραγωγής επικάλυψης μαγνητρονίου είναι μια σημαντική διαμόρφωση εξοπλισμού από εναπόθεσης φυσικών ατμών.

Το βασικό του χαρακτηριστικό είναι ότι το υπόστρωμα (τεμάχιο εργασίας) τοποθετείται οριζόντια κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επικάλυψης.

Αυτή η διάταξη φέρνει μοναδικά χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα εφαρμογών, καθιστώντας την αναντικατάστατη σε συγκεκριμένα πεδία.

Απόθεση σύνθετων μεμβρανών πολλαπλών στρώσεων στην επιφάνεια γυαλιού, κεραμικών και επίπεδων προϊόντων.

Οριζόντια τοποθέτηση υποστρώματος

Αυτό είναι το βασικό χαρακτηριστικό. Το υπόστρωμα (όπως η γυάλινη πλάκα, το δίσκο πυριτίου, η μεταλλική πλάκα, το πλαστικό φύλλο κ.λπ.) τοποθετείται οριζόντια σε φορέα (όπως δίσκο, πλαίσιο) ή μεταφέρονται οριζόντια μέσω της περιοχής επικάλυψης με μηχανισμό μεταφοράς.

Συνεχής παραγωγή

Οι οριζόντιες γραμμές είναι πολύ κατάλληλες για το σχεδιασμό της συνεχούς ή της παραγωγής σε γραμμή.

Τα υποστρώματα μπορούν να φορτωθούν διαδοχικά, να σταλούν στον θάλαμο ψεκασμού για επικάλυψη και στη συνέχεια να αποσταλούν και να εκφορτωθούν, επιτυγχάνοντας αποτελεσματικές λειτουργίες γραμμής συναρμολόγησης μεγάλης κλίμακας.

Εύκολη ενσωμάτωση αυτοματισμού

Η οριζόντια τοποθέτηση και η γραμμική διάταξη είναι πολύ βολικές για την ενσωμάτωση αυτοματοποιημένων ρομπότ φόρτωσης/εκφόρτωσης, συστήματα μεταφοράς (όπως κυλίνδρους, αλυσίδες, ρομπότ), εξοπλισμό ανίχνευσης σε απευθείας σύνδεση κ.λπ.

Για επίπεδα υποστρώματα

Ιδιαίτερα καλό στην επεξεργασία επίπεδων ή ελαφρώς καμπυλωμένων υποστρωμάτων (όπως αρχιτεκτονικό γυαλί, φωτοβολταϊκό γυαλί, επίπεδη οθόνη υποστρώματος, εύκαμπτα ρολά).

Μικρή επιρροή της βαρύτητας

Η οριζόντια τοποθέτηση καθιστά την κατεύθυνση της βαρύτητας κάθετα στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Για τα σωματίδια που μπορούν να δημιουργηθούν κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ψεκασμού, η επίδραση της καθίζησης της βαρύτητας στην ομοιομορφία του στρώματος του φιλμ είναι σχετικά μικρή (σε σύγκριση με τον κατακόρυφο τύπο).

Βολική λειτουργία και συντήρηση

Ο κύριος εξοπλισμός και τα εξαρτήματα βρίσκονται συνήθως σε ύψη που είναι εύκολα προσβάσιμα στους χειριστές, καθιστώντας βολική την καθημερινή λειτουργία, την παρακολούθηση και τη συντήρηση.

Εξαιρετικά υψηλή αποδοτικότητα και χωρητικότητα παραγωγής
Συνεχής παραγωγή:

Αυτό είναι το μεγαλύτερο πλεονέκτημα της οριζόντιας γραμμής. Το υπόστρωμα μπορεί να είναι συνεχώς είσοδος και έξοδος και η διαδικασία ψεκασμού ολοκληρώνεται κατά τη διάρκεια της συνεχούς ή βήμα προς βήμα κίνηση του υποστρώματος, η οποία είναι ιδιαίτερα κατάλληλη για μεγάλες, μονές ή περιορισμένες ανάγκες παραγωγής ποικιλίας.

Εξαιρετική ομοιομορφία επικάλυψης μεγάλης περιοχής
Για επίπεδα υποστρώματα (ειδικά ορθογώνιες πλάκες γυαλιού), μπορεί να επιτευχθεί πολύ υψηλό πάχος φιλμ μεμβράνης σε μια μεγάλη επιφάνεια με προσεκτικό σχεδιασμό της διάταξης στόχου, της κατανομής του μαγνητικού πεδίου, της ταχύτητας μεταφοράς υποστρώματος και της απόστασης-υπο-υπο-υποβιβαστικού στόχου.

Εξαιρετική σταθερότητα και επαναληψιμότητα της διαδικασίας
Οι πολύ αυτοματοποιημένες και συνεχείς διαδικασίες μειώνουν την ανθρώπινη παρέμβαση και τα λειτουργικά λάθη

Σταθερή ταχύτητα μεταφοράς και ακριβής έλεγχος παραμέτρων διεργασίας (πίεση αερίου, ισχύς, ροή αερίου) εξασφαλίζει τη σταθερότητα της διαδικασίας μεταξύ των παρτίδων και των μεγάλων χρονικών περιόδων.

Εξαιρετική συμβατότητα και ευελιξία υπόστρωμα
Διάφορα υλικά: Κατάλληλο για μια ποικιλία από επίπεδα υποστρώματα όπως γυαλί, μεταλλικά φύλλα, πλακίδια πυριτίου, κεραμικά και ειδικά πλαστικά.

Εύκολο στην επίτευξη εναπόθεσης πολλαπλών στρώσεων
Με την τοποθέτηση στόχων από ψεκασμό διαφόρων υλικών σε ακολουθία στη διαδρομή μεταφοράς και περνώντας το υπόστρωμα μέσω αυτών των θέσεων-στόχων σε ακολουθία, οι λεπτές μεμβράνες πολλαπλών υλικών μπορούν να εναποτίθενται συνεχώς σε μία διαδικασία μεταφοράς για να σχηματίσουν ένα σύνθετο σύστημα πολλαπλών στρωμάτων (όπως το φιλμ πολλαπλών επιπέδων με βάση το ασήμι και η στατισμένη δομή των φωτοβολταϊκών λεπτών κυττάρων).