Η γραμμή παραγωγής επικάλυψης κενού είναι ένα εξαιρετικά εξειδικευμένο σύστημα παραγωγής, το οποίο χρησιμοποιείται κυρίως για την κατάθεση ενός ή περισσοτέρων στρώσεων εξαιρετικά λεπτών λειτουργικών μεμβρανών στην επιφάνεια των υποστρωμάτων (όπως γυαλί, πλαστικό, μέταλλο, κεραμικό, ημιαγωγό κ.λπ.).
Ο πυρήνας του είναι να εξατμίσει ή να ιονίζει το υλικό επικάλυψης μέσω διαφόρων φυσικών μεθόδων σε ένα περιβάλλον κενού και στη συνέχεια να το συμπυκνωθεί σε μια μεμβράνη στην επιφάνεια του υποστρώματος.
Εφαρμογές:
Επικάλυψη κενού χαλκού, αργύρου και άλλων αγώγιμων υλικών στην επιφάνεια των κεραμικών ηλεκτρικών εξαρτημάτων και των κεραμικών κυκλωμάτων.
Είναι επίσης κατάλληλο για εναπόθεση κενού διαφόρων στρώσεων μετάλλων στην επιφάνεια άλλων τεμαχίων που μοιάζουν με πλάκα (γυαλί, ακρυλικό πίνακα κλπ.).
Κύρια χαρακτηριστικά:
Το μαγνητικό πεδίο περιορίζει το πλάσμα
Αυτό είναι το βασικό χαρακτηριστικό του sputtering magnetron. Εφαρμόζοντας ένα ισχυρό μαγνητικό πεδίο ενός συγκεκριμένου σχήματος (συνήθως ένα δακτύλιο ή σχήμα αγώνα αγώνα) κοντά στην επιφάνεια στόχου, τα ηλεκτρόνια περιορίζονται κοντά στην επιφάνεια στόχου για να κάνουν σπειροειδή κίνηση, γεγονός που αυξάνει σημαντικά την πιθανότητα σύγκρουσης και ιονισμού ηλεκτρονίων με άτομα εργασίας (συνήθως αργόν).
Υψηλός ρυθμός ιονισμού και υψηλό ποσοστό εναπόθεσης
Ο περιορισμός του μαγνητικού πεδίου αυξάνει σημαντικά την πυκνότητα του πλάσματος και τον ρυθμό ιονισμού, καθιστώντας τη διαδικασία ψεκασμού πιο αποτελεσματική.
Αυτό σημαίνει ότι σε σχετικά χαμηλή πίεση αερίου και χαμηλή τάση ψεκασμού/ισχύ, μπορούν να επιτευχθούν πολύ υψηλότερα ποσοστά ψεκασμού και εναπόθεσης από το συμβατικό DC sputtering.
Διαδικασία χαμηλής θερμοκρασίας
Δεδομένου ότι το μεγαλύτερο μέρος της ενέργειας χρησιμοποιείται για να ιονίζει τα άτομα στόχου αερίου και ψεκασμού, η σχετικά μικρή θερμότητα μεταφέρεται στο υπόστρωμα.
Καλή ποιότητα ταινιών
Καλή πυκνότητα, ισχυρή προσκόλληση, υψηλή καθαρότητα και καλή ομοιομορφία.
Ευρύ φάσμα προσαρμοστικότητας υλικού
Καλή δυνατότητα ελέγχου της διαδικασίας
Η γραμμή παραγωγής επικάλυψης Magnetron έχει γίνει μια από τις βασικές τεχνολογίες για την προετοιμασία λειτουργικών λεπτών μεμβρανών (όπως οι οπτικές μεμβράνες, οι αγώγιμες ταινίες, οι ανθεκτικές σε φθορά, τα χαμηλής θερμοκρασίας. Η προσαρμοστικότητα του υλικού, η καλή ομοιομορφία και η δυνατότητα ελέγχου. Διαθέτει εξαιρετικά ευρείες εφαρμογές σε μικροηλεκτρονική, οθόνες επίπεδων πλαισίων, ηλιακά κύτταρα, επικαλύψεις εργαλείων, εξαρτήματα αυτοκινήτων, συσκευασία, διακόσμηση, οπτικές συσκευές και άλλα πεδία.
Δημοφιλείς Ετικέτες: Magnetretron Sputtering Line, Κίνα Magnetron Sputtering Coast Coasturers, Προμηθευτές, Factory
